国内 EUV光刻机，有明确分工，和重要的角色？网友：不会有事吧？

　　我想你们都知道，由于美国的干涉， ASML的 EUV光刻机，迟迟不能出口到我们这里，但你们或许不知道， ASML的 EUV光刻机，最重要的 EUV光源，就是美国 Cymer公司的，甚至有一半以上的零件，都是从美国进口的。

　　所以，按照 ASML的说法，他们现在也只能等着瞧了，不过在知道了 EUV光刻机被卡在了脖子上的消息后，中科院那边立刻表态，会尽快解决掉卡在脖子上的那台光刻机。

　　国内的 EUV光刻机，目前能得到的资料也就这么多，但目前，国内的 EUV光刻机，已经被我们挖掘出来了。

　　

　　首先就是极紫外光刻技术，我们都知道，其中最关键的就是极紫外光，这一点，中科院也已经解决了。

　　我们发现，在极紫外光源领域，中科院已设立了多个研究机构，并设立了多个岗位。

　　以强场激光物理学为例，其主要业务包括：极紫外热结构设计、极紫外光学机械结构设计、极紫外物理实验与理论研究、极紫外光源自动控制等。

　　

　　从这一点来看，这就是 EUV照明技术的进一步细分，不过这只是最基础的研究，进一步研究的内容有很多，包括：

　　本课题的主要内容包括：极紫外光源的研究；光刻机的极紫外光源的生成原理和实验研究；高亮度的极紫外光源与半导体维纳元件的成像探测；极紫外光刻机的超短探测光源技术。

　　在精密光学工程部中，有 EUV光学设计工程师，他的工作内容比较多，比如：光学设计建模和模拟仿真，集成系统或设备的 EUV光学模块， EUV光学性能的鉴定以及故障处理，除此之外，还要考虑可靠性、可用性、可维修性和成本问题。

　　

　　同时，在高精度光学加工和测试中心，进行高精度、高精度和高精度的加工和测试等方面的研究。

　　所以，我们可以看出，仅仅是一种 EUV光源，中科院就对其展开了近乎立体的全方位发展，从多个层面上进行了考量，即，不但要研制出 EUV光源，而且要解决其在光刻机上的应用问题，和相应器件的研制问题。

　　另外，这次 EUV技术的领军人物也出来了，我们注意到，林楠的团队，由林楠带领，他曾经是 ASML的研发人员，也是这次 EUV技术的主要负责人，同时，他还被 ASML授予了连续七年的专利。

　　

　　而林楠这个新组建的研究团队，正在招募一名深紫外光学设计师，很有可能成为 EUV计划中的核心成员。

　　另外，我们还了解到，中国科学院目前正在为“极紫”大学招聘高端技术人才，待遇待遇高达一百万，补助高达三百万。

　　当然，这些都是我们从中科院那边得到的消息，可能会有更多的信息没有公布出来，所以，这只是 EUV计划的一部分。

　　

　　不过看了这个消息，很多网友都说，国内的 EUV光刻机，其实是很稳定的。

　　正因为这样的分工与实力，我们才能看出，中科院对于 EUV的定位是非常明确的，而对于 EUV的突破，中科院也是将其分解成了一个个小任务。

　　这意味着中科院已经迈出了攻克 EUV技术的第一步，也意味着我们已经找到了解决 EUV光源问题的关键。

　　

　　也就是说，中科院已经将 EUV光源的大课题，分成了若干个子课题，并且已经安排好了工作人员，接下来就是进行试验验证了。

　　将一个大问题拆分成几个小问题，需要多个部门，多个岗位，多个领域进行协作，甚至需要多个领域的协作，这涉及到了物理，化学，甚至是数学，同时也涉及到了一些特殊的领域，比如光学，热学，激光光学，光学工程，微流控等等。

　　所以，从这个角度来看，我们都觉得，中科大在 EUV的研究上，真的很有信心，这一点，是因为我们对中科大有信心，也是因为我们对中科大有信心。

　　

　　所以，再过几年，说不定我们还能见到更多国产 EUV光刻机的喜讯，让我们等着瞧吧，各位有什么看法？欢迎留言，喜欢，转发。

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